第248章 “光刻厂”项目！ (2/2)
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研究所。
“我了解到，夏科院那边光刻机研究有不小的进展……”
“其实我有想过光刻机的研究难点，那种高精度的东西确实很难……为什么我们不放大呢？”
“阿斯麦的光刻机一体化，我们能不能将光刻机放大，造一个光刻厂？”
“我记得夏科院有同步辐射光源技术已经有很大的研究成果！”
“清大那边的赵教授，在2010年，提出了SSmb稳态微聚束的设想。”
“我想联合夏科院和清大，做这方面的研究……”
光刻厂！
未来被提出的研究方向。
是对光刻机的一种碾压。
只不过，在李易重生的时候，还没有真正落地，但可以肯定这个也是一种解决光刻机的办法！
而且是行得通的！
理论上来说，通过同步辐射技术，对于大量接近光速的高能电子来说，只要不断改变它的方向，它就会不断释放出光子。
随着速度衰减到足够低。理论上可以得到，从x光到远红外范围内的具有连续光谱、高强度、高度准直、高度极化、特性可精确控制的优异脉冲光源。
最高可以达到飞秒激光级。
自然包括EUV光源！
比较难的是，如何聚束，还是：稳态聚束。
电子在转弯，会纵向滑移，聚束就没法维持了。
激光和电子微聚束要以巧妙的角度调制。
怎么保持好角度也很困难。
目前，高能所的第四代同步辐射光源，还没获突破性进展。
想通过复杂的插入件技术，让光源质量进一步提升，有了更精尖的运用场景。
虽然还达不到用来制作光刻机，也就是在极紫外光源段，质量不够、不够细腻和稳定。
赵教授提出的SSmb方案——稳态微聚束。
两者结合，能起到不错的效果。
SSmb方案，把自由电子激光（FEL）搬进了同步辐射储存环内。
为同步辐射的储存环引入一个插入件。
这是高能所未来第四代高能同步辐射光源的研究成果。
加上SSmb方案，让其拥有了产出高质量极紫外光源的能力。
唯一的缺点就是：贵！
同步辐射光源来制造‘光刻机’，理论可行，加上SSmb方案更可行，就是造价高！
同步辐射装置造价成本高达数十亿。
但是李易不差钱啊？！
但这东西，需要官方配合，同步辐射装置也不是谁都可以建设的。
这玩意……占地就有几十公顷！
几百亩土地！
不过在燕都、临海、庐州，都有同步辐射装置可以借用。
同步辐射装置造价很贵。
如果是SSmb-EUV方案制造光刻机，成本能降低几倍。
而且‘光刻厂’占地其实不需要那么大，数百平米就足够了！
但‘光刻’只是芯片生产领域中一个工序而已！
依旧需要搭配配套的晶圆厂才行。
“你这个想法，可行性似乎有……我帮你联系夏科院、清大、以及燕都同步辐射光源实验室，看看能不能一起合作，解决这方面的问题。”
反正又不是官方出钱。
李易出钱！
高校、研究所、实验室，有人投入巨大科研经费，还是研究这种超前技术，基本上不会拒绝这种投资。
更何况，这方面还是内阁领导让科技部门出面协调，多少会给几分面子。
“那就先麻烦廖部长，这是臻诚银行账户，100亿资金已经准备好了，想必会更有说服力！”
廖部长和卓院士心里一阵感慨，直呼：好家伙。
100亿资金已经准备好了？
这100亿的资金，躺在银行账户里，确实更具有说服力。
“没问题！”
廖部长答应下来。
下一站，李易跟着廖部长前往夏科院。